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            熱門關鍵詞：PECVD,CVD系統,升華儀,管式爐,箱式爐等
            
        
            
        
            
        	
        
            
    
            

            




            
    
            
        
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                      供氣系統

              
    供氣系統
    
              
        
              更新時間：2021-10-14
              
        
              型號：
              
        
              瀏覽量：807
              
    
              
    
              該供氣系統（ 1路質子 2路浮子）是一種可控制三種氣體按不同流量進行混合配比，也可根據實驗需求加裝洗氣裝置，質量流量計安裝于密封的可移動機柜內，由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭連接組成。
              
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