<optgroup id="66ad0"><li id="66ad0"><source id="66ad0"></source></li></optgroup>

    <optgroup id="66ad0"><i id="66ad0"></i></optgroup>
  • <optgroup id="66ad0"><em id="66ad0"><del id="66ad0"></del></em></optgroup>
  • <span id="66ad0"></span>

    <optgroup id="66ad0"><em id="66ad0"><del id="66ad0"></del></em></optgroup>
  • <dd id="66ad0"><output id="66ad0"></output></dd>

    <optgroup id="66ad0"><li id="66ad0"></li></optgroup>
    1. <optgroup id="66ad0"><em id="66ad0"><del id="66ad0"></del></em></optgroup>

      <span id="66ad0"><blockquote id="66ad0"></blockquote></span>
      <ol id="66ad0"></ol>

      <ol id="66ad0"><blockquote id="66ad0"></blockquote></ol>
      您好!歡迎訪問安徽貝意克設備技術有限公司網站!
      全國服務咨詢熱線:

      18019970653

      當前位置:首頁 > 產品中心 > > CVD系統 > 1700度高溫CVD系統 (高真空 低真空可選)

      1700度高溫CVD系統 (高真空 低真空可選)

      簡要描述:BTF-1700C-CVD1700度高溫CVD系統 (高真空 低真空可選)是由1700度管式爐、三路質量流量計系統以及國產高真空系統(或選配低真空系統)所組成。

      • 產品型號:
      • 廠商性質:生產廠家
      • 更新時間:2021-09-27
      • 訪  問  量:3123

      產品分類

      Product Category

      相關文章

      Related Articles

      詳細介紹

      品牌其他品牌產地類別進口
      應用領域電子,綜合

      設備1700度高溫CVD系統 (高真空 低真空可選)特點

        此款1700℃高溫CVD系統,是由1700度管式爐、三路質量流量計系統以及國產高真空系統(或選配低真空系統)所組成。此設備主要用于:真空或氣氛燒結、基片鍍膜等要求加熱溫度較高的實驗環境. 設備技術成熟、質量可靠,溫場均勻,結構合理,氣路選用液晶屏觸摸界面,使得操作異常簡單、方便;設備的各項技術參數,30段可編程溫控系統更是一目了然,使整個實驗的運行狀態盡在您的掌控之中。

      1700度高溫CVD系統 (高真空 低真空可選

      加熱區參數

       爐管尺寸:Φ60/80×1000mm(管徑可選)

       加熱元件:硅鉬棒

       加熱區長度:300mm

       恒溫區長度:150mm

       工作溫度:1550℃

       最高溫度:1650℃

       控溫方式:模糊PID控制和自整定調節,智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能

       控溫精度:±1℃

       推薦升溫速度: 1400℃以下≤10℃/min,1400℃到1600℃≤5℃/min

       工作電源:AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz

       額定功率:5.2 KW

       外型尺寸:610×440×720 mm

       標準配件:高純剛玉管1支,氧化鋁管堵2對,不銹鋼法蘭1套,氟膠密封圈2套,高溫手套1副,坩堝鉤1支,小保險1個;

       密封系統:爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭(包括精密針閥,指針式真空壓力表和軟管式寶塔嘴接頭),端口可按實際使用擴展。

      氣路系統參數

       

       質量流量計參考量程(N2):100sccm、200sccm、500sccm (量程可選)

       準確度:±1.5%

       線性:±0.5~1.5%

       重復精度:±0.2%

       響應時間:≤10sec

       工作壓差范圍:0.1~0.5 MPa

       最大壓力:3MPa

       接口:Φ6,1/4''

       顯示:4位數字顯示

       工作環境溫度:5~45高純氣體

       內外雙拋不銹鋼管:Φ6

       壓力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

       截止閥:Φ6

       連接頭類型:雙卡套不銹鋼接頭。

       可選配一路、兩路、三路、四路、五路等以上質量流量計

      低真空系統參數

       

       抽速:10m3/h

       極限真空度:5*10-1pa

       電源:220v 50hz

       電機功率:0.4kw  

       進排氣連接口:KF25

       用油量:1.1L

       電機轉速:1440rpm

       工作環境溫度:5-40℃

       噪音:≤56db

       電阻真空計參數:

       1.配用規管:電阻規,

       2.測量范圍: 105~10-1 Pa,

       3.測量路數: 1路

       4.控制范圍: 5×103~5×10-1Pa,

       5.控制方式:繼電器觸點輸出,負載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負載

       6.電源: 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz,

       7.功耗: 20W

       采用波紋管手動擋板閥與真空系統相連接

      高真空系統參數

       

       空氣相對濕度:≤85%

       工作電壓:AC220V±10%  50/60HZ

       功率:1KW

       系統整體極限真空度:10-5Pa

       實驗真空度:10-3Pa

       外形尺寸:850×600×650mm

       機械泵:

       抽氣速率:10m3/h

       容油量:1.1L

       電機功率:400W

       極限壓強:6×10-2Pa

       分子泵:

       抽氣速率:100L/S

       極限壓強:6×10-6Pa

       啟動時間:<2min

       額定轉速:4300轉/分

       冷卻方式:環境溫度5-32℃時,風冷;5-40℃時,水冷。

       分子泵控制器:

       電壓:220V±22V

       啟動電流:≤7A

       輸入頻率:47HZ~63HZ

       最大輸出功率:≤150W

       最大加速電壓:≤40V

       加速時間:≤3min

       頻率(雙速):高速705HZ±10HZ

                              低速430HZ±5HZ

       復合真空計:

       測量路數:2路(電阻規、電離規各1路)

       工作模式:手動/自動

       電阻單元參數

       規管型號:電阻規

       測量范圍:1.0×105Pa~1.0×10-1Pa

       有效范圍:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

       控制范圍:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

       電離單元參數

       規管型號:電離規

       可測范圍:5.0Pa~1.0×10-5Pa

       有效范圍:1.0Pa~5.0×10-5Pa

       控制范圍:1.0Pa~5.0×10-5Pa

       規管除氣方式:焦耳去氣

       其他參數

       控制路數:4路

       控制方式:點動或區域控制/帶掉電記憶

       控制精度:±1%

       采樣時間:1s

       電源:220V±10% 50HZ

       功耗:50W

       使用環境溫度:0℃~45℃

       濕度:≤85%

       連接管路:采用全不銹鋼,電拋光制作,零件焊接漏率優于1.0×10-9Pa.m3/s,采用波紋管手動擋板閥與真空系統相連接。

      備注:

      可根據工藝要求選配低真空或高真空系統。


      產品咨詢

      留言框

      • 產品:

      • 您的單位:

      • 您的姓名:

      • 聯系電話:

      • 常用郵箱:

      • 省份:

      • 詳細地址:

      • 補充說明:

      • 驗證碼:

        請輸入計算結果(填寫阿拉伯數字),如:三加四=7
      安徽貝意克設備技術有限公司
      地址:安徽省合肥市宜秀路6號貝意克肥西基地
      郵箱:besteq@163.com
      傳真:86-0551-65148123
      關注我們
      歡迎您關注我們的微信公眾號了解更多信息:
      歡迎您關注我們的微信公眾號
      了解更多信息
      两个人的视频免费国语版_亚洲熟妇AV一区二区三区_西西人体大胆午夜啪啪_久久九九久精品国产免费直播 国产尤物精品视频_人妻免费刚交视频_国产精品丝袜熟女_中文字慕无码在线 东京热TOKYO综合久久精品_久久精品国产亚洲AV无码麻豆_国产亚洲精品一品区99热_人妻少妇精品视频无码综合 日日超级碰碰碰碰久久久久_国产精品国产色综合色_精品无码专区_国产三级Av一区二区三区 啪啪无码人妻丰满熟妇_风流老太婆大bbwbbwhd视频_精品国产一区二区三区AV_18禁强伦姧人妻又大又 精品国产Ⅴ无码大片在线观看_18禁美女黄网站色大片免费看_亚洲成AV人片一区二区三区_婷婷成人综合激情在线视频播