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            1700度高溫CVD系統 (高真空 低真空可選)

            簡要描述:BTF-1700C-CVD1700度高溫CVD系統 (高真空 低真空可選)是由1700度管式爐、三路質量流量計系統以及國產高真空系統(或選配低真空系統)所組成。

            • 產品型號:
            • 廠商性質:生產廠家
            • 更新時間:2021-09-27
            • 訪  問  量:1966

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            設備1700度高溫CVD系統 (高真空 低真空可選)特點

              此款1700℃高溫CVD系統,是由1700度管式爐、三路質量流量計系統以及國產高真空系統(或選配低真空系統)所組成。此設備主要用于:真空或氣氛燒結、基片鍍膜等要求加熱溫度較高的實驗環境. 設備技術成熟、質量可靠,溫場均勻,結構合理,氣路選用液晶屏觸摸界面,使得操作異常簡單、方便;設備的各項技術參數,30段可編程溫控系統更是一目了然,使整個實驗的運行狀態盡在您的掌控之中。

            1700度高溫CVD系統 (高真空 低真空可選

            加熱區參數

             爐管尺寸:Φ60/80×1000mm(管徑可選)

             加熱元件:硅鉬棒

             加熱區長度:300mm

             恒溫區長度:150mm

             工作溫度:1550℃

             最高溫度:1650℃

             控溫方式:模糊PID控制和自整定調節,智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能

             控溫精度:±1℃

             推薦升溫速度: 1400℃以下≤10℃/min,1400℃到1600℃≤5℃/min

             工作電源:AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz

             額定功率:5.2 KW

             外型尺寸:610×440×720 mm

             標準配件:高純剛玉管1支,氧化鋁管堵2對,不銹鋼法蘭1套,氟膠密封圈2套,高溫手套1副,坩堝鉤1支,小保險1個;

             密封系統:爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭(包括精密針閥,指針式真空壓力表和軟管式寶塔嘴接頭),端口可按實際使用擴展。

            氣路系統參數

             

             質量流量計參考量程(N2):100sccm、200sccm、500sccm (量程可選)

             準確度:±1.5%

             線性:±0.5~1.5%

             重復精度:±0.2%

             響應時間:≤10sec

             工作壓差范圍:0.1~0.5 MPa

             最大壓力:3MPa

             接口:Φ6,1/4''

             顯示:4位數字顯示

             工作環境溫度:5~45高純氣體

             內外雙拋不銹鋼管:Φ6

             壓力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

             截止閥:Φ6

             連接頭類型:雙卡套不銹鋼接頭。

             可選配一路、兩路、三路、四路、五路等以上質量流量計

            低真空系統參數

             

             抽速:10m3/h

             極限真空度:5*10-1pa

             電源:220v 50hz

             電機功率:0.4kw  

             進排氣連接口:KF25

             用油量:1.1L

             電機轉速:1440rpm

             工作環境溫度:5-40℃

             噪音:≤56db

             電阻真空計參數:

             1.配用規管:電阻規,

             2.測量范圍: 105~10-1 Pa,

             3.測量路數: 1路

             4.控制范圍: 5×103~5×10-1Pa,

             5.控制方式:繼電器觸點輸出,負載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負載

             6.電源: 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz,

             7.功耗: 20W

             采用波紋管手動擋板閥與真空系統相連接

            高真空系統參數

             

             空氣相對濕度:≤85%

             工作電壓:AC220V±10%  50/60HZ

             功率:1KW

             系統整體極限真空度:10-5Pa

             實驗真空度:10-3Pa

             外形尺寸:850×600×650mm

             機械泵:

             抽氣速率:10m3/h

             容油量:1.1L

             電機功率:400W

             極限壓強:6×10-2Pa

             分子泵:

             抽氣速率:100L/S

             極限壓強:6×10-6Pa

             啟動時間:<2min

             額定轉速:4300轉/分

             冷卻方式:環境溫度5-32℃時,風冷;5-40℃時,水冷。

             分子泵控制器:

             電壓:220V±22V

             啟動電流:≤7A

             輸入頻率:47HZ~63HZ

             最大輸出功率:≤150W

             最大加速電壓:≤40V

             加速時間:≤3min

             頻率(雙速):高速705HZ±10HZ

                                    低速430HZ±5HZ

             復合真空計:

             測量路數:2路(電阻規、電離規各1路)

             工作模式:手動/自動

             電阻單元參數

             規管型號:電阻規

             測量范圍:1.0×105Pa~1.0×10-1Pa

             有效范圍:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

             控制范圍:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

             電離單元參數

             規管型號:電離規

             可測范圍:5.0Pa~1.0×10-5Pa

             有效范圍:1.0Pa~5.0×10-5Pa

             控制范圍:1.0Pa~5.0×10-5Pa

             規管除氣方式:焦耳去氣

             其他參數

             控制路數:4路

             控制方式:點動或區域控制/帶掉電記憶

             控制精度:±1%

             采樣時間:1s

             電源:220V±10% 50HZ

             功耗:50W

             使用環境溫度:0℃~45℃

             濕度:≤85%

             連接管路:采用全不銹鋼,電拋光制作,零件焊接漏率優于1.0×10-9Pa.m3/s,采用波紋管手動擋板閥與真空系統相連接。

            備注:

            可根據工藝要求選配低真空或高真空系統。


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