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      石墨烯生長

      簡要描述:低真空CVD石墨烯生長系統是由1200度開啟式管式爐、精密的質量流量控制系和真空系統所組成。廣泛應用在半導體、納米材料、碳纖維、石墨烯等新材料、新工藝領域。

      • 產品型號:BTF-1200C-CVD
      • 廠商性質:生產廠家
      • 更新時間:2021-10-14
      • 訪  問  量:2051

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      詳細介紹

      品牌其他品牌產地類別進口
      應用領域電子,綜合

        石墨烯生長系統主要特點:該設備是由1200度開啟式管式爐、精密的質量流量控制系和真空系統所組成。廣泛應用在半導體、納米材料、碳纖維、石墨烯等新材料、新工藝領域。

       1.石墨烯生長系統加熱系統

      最高溫度

      1200℃

      使用溫度

      ≤1100℃

      石英管尺寸

      Φ25/φ50/φ60/Φ80/φ100*1000mm

      爐膛材料

      氧化鋁、高溫纖維制品

      熱電偶類型

      K型熱電偶

      控溫精度

      ±1℃

      控溫方式

      30段可編程控溫,PID參數自整定。

      加熱長度

      440mm

      恒溫區長度

      200mm

      加熱原件

      電阻絲

      供電電源

      單相,220V,50Hz

      2、三路質子流量控制系統

      連接頭類型

      雙卡套不銹鋼接頭

      標準量程(N2)

      200sccm,500sccm、1000sccm(可根據用戶要求定制)

      準確度

      ±1.5%F.S

      線性

      ±1%F.S

      重復精度

      ±0.2%F.S

      響應時間

      氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

      工作壓差范圍

      0.1~0.5 MPa

      最大壓力

      3MPa

      接口

      Φ6,1/4''

      顯示

      4位數字顯示

      工作環境溫度

      5~45高純氣體

      壓力真空表

      -0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

      截止閥

      Φ6

      內外雙拋不銹鋼管

      Φ6

      3、低真空機組

      空氣相對濕度

      ≤85%

      工作環境

      5℃~40℃

      工作電電壓

      220V±10%  50~60HZ

      功率

      1KW

      抽氣速率

      10m3/h

      極限真空

      5X10-1Pa

      工作壓力范圍

      1.01325X105~1.33X10-2Pa

      耐壓值

      0.03MPa

      容油量

      1.1L

      進氣口口徑

      KF25

      排氣口口徑

      KF25

      噪音

      50dB

      連接方式

      采用波紋管,手動擋板閥與波紋管相連




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