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      當前位置:首頁 > 產品中心 > PECVD系統 > 智能型 > 三溫區PECVD

      三溫區PECVD

      簡要描述:三溫區PECVD產品簡介:本設備主要針對實驗和中試石墨烯生長和制備使用,同時該設備可以用于碳納米管的生長??芍苽涑龈哔|量的透明導電膜,用作手機觸摸屏,平板電腦,智能穿戴,傳感器等領域。

      • 產品型號:
      • 廠商性質:生產廠家
      • 更新時間:2021-09-30
      • 訪  問  量:1672

      產品分類

      Product Category

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      詳細介紹

      品牌貝意克價格區間面議
      儀器種類管式爐產地類別國產
      應用領域環保,化工,能源,電子,電氣

      BTF-1200C-PECVD高溫真空爐加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,其極低的熱導率和比熱容,保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,特別適合于科研單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱,有利于爐內溫度場的均勻分布。高溫真空電阻爐溫度控制系統采用經典的閉環負反饋控制系統,控溫儀表選用智能型程序溫度調節儀表控溫,電力調制器控制;負載采用小電壓大電流控制,從而大大提高了發熱元件的壽命,測溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數,無須操作人員的干預,可自行根據不同溫度曲線的升、降溫要求調整輸出信號,同時系統設置了超溫、欠溫、斷偶報警保護功能,大大降低了對操作人員經驗的要求,關鍵電氣元件采用優質的進口產品,做到高性能、免維護,提高了設備質量的可靠性。              

       1、加熱系統

      最高溫度

      1200℃

      使用溫度

      ≤1100℃

      爐膛有效尺寸

      Φ100mm(適用于2-3英寸樣品,爐管直徑可根據實際需要定制。)

      爐膛材料

      氧化鋁、高溫纖維制品

      熱電偶類型

      K型熱電偶

      控溫精度

      ±1℃

      控溫方式

      30段可編程控溫,PID參數自整定,操作界面為7"工控電腦,內置PLC控制序。

      加熱長度

      200+200+200mm

      恒溫長度

      400mm

      加熱原件

      電阻絲

      供電電源

      單相,220V,50Hz

       2、PE射頻電源

      功率輸出范圍

      0W~500W

      最大反射功率

      100W

      射頻輸出接口

      50 Ω, N-type, female

      功率穩定度

      ≤5W

      諧波分量

      ≤-50dbc

      供電電壓

      單相交流(187V-253V) 頻率50/60HZ

      整機效率

      >=70%

      功率因素

      >=90%

      冷卻方式

      強制風冷

      3、三路質子流量控制系統

      連接頭類型

      雙卡套不銹鋼接頭

      標準量程(N2)

      50sccm,100sccm、500sccm(可根據用戶要求定制)

      準確度

      ±1.5%F.S

      線性

      ±1%F.S

      重復精度

      ±0.2%F.S

      響應時間

      氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

      工作壓差范圍

      0.1~0.5 MPa

      最大壓力

      3MPa

      接口

      Φ6,1/4''

      顯示

      4位數字顯示

      工作環境溫度

      5~45高純氣體

      壓力真空表

      -0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

      截止閥

      Φ6

      內外雙拋不銹鋼管

      Φ6

      4、低真空機組

      空氣相對濕度

      ≤85%

      工作環境

      5℃~40℃

      工作電電壓

      220V±10%  50~60HZ

      功率

      1KW

      抽氣速率

      10m3/h

      極限真空

      5X10-1Pa

      工作壓力范圍

      1.01325X105~1.33X10-2Pa

      耐壓值

      0.03MPa

      容油量

      1.1L

      進氣口口徑

      KF25

      排氣口口徑

      KF25

      噪音

      50dB

      連接方式

      采用波紋管,手動擋板閥與波紋管相連


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