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            當前位置:首頁 > 產品中心 > PECVD系統 > 簡易版 > BTF-1200C-III-SL-PECVD三溫區滑軌式PECVD系統

            三溫區滑軌式PECVD系統

            簡要描述:三溫區滑軌式PECVD系統本設備主要針對實驗中試石墨烯生長和制備使用,同時該設備可以用于碳納米管的生長??芍苽涑龈哔|量的透明導電膜,用作手機觸摸屏,平板電腦,智能穿戴,傳感器等領域。

            • 產品型號:BTF-1200C-III-SL-PECVD
            • 廠商性質:生產廠家
            • 更新時間:2021-09-30
            • 訪  問  量:1103

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            儀器種類管式爐產地類別國產
            應用領域環保,化工,能源,電子

            三溫區滑軌式PECVD系統三溫區滑軌式PECVD系統

            高溫真空爐加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,其極低的熱導率和比熱容,保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,特別適合于科研單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱,有利于爐內溫度場的均勻分布。高溫真空電阻爐溫度控制系統采用經典的閉環負反饋控制系統,控溫儀表選用智能型程序溫度調節儀表控溫,電力調制器控制;負載采用小電壓大電流控制,從而大大提高了發熱元件的壽命,測溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數,無須操作人員的干預,可自行根據不同溫度曲線的升、降溫要求調整輸出信號,同時系統設置了超溫、欠溫、斷偶報警保護功能,大大降低了對操作人員經驗的要求,關鍵電氣元件采用優質的進口產品,做到高性能、免維護,提高了設備質量的可靠性。

                            

            1、加熱系統

            最高溫度

            1200℃

            使用溫度

            ≤1100℃

            爐膛有效尺寸

            Φ100mm(適用于2-3英寸樣品,爐管直徑可根據實際需要定制。)

            爐膛材料

            氧化鋁、高溫纖維制品

            熱電偶類型

            K型熱電偶

            控溫精度

            ±1℃

            控溫方式

            30段可編程控溫,PID參數自整定

            加熱長度

            300+300+300mm

            恒溫長度

            500mm

            加熱原件

            電阻絲

            供電電源

            單相,220V,50Hz

            2、PE射頻電源

            功率輸出范圍

            0W~500W

            最大反射功率

            100W

            射頻輸出接口

            50 Ω, N-type, female

            功率穩定度

            ≤5W

            諧波分量

            ≤-50dbc

            供電電壓

            單相交流(187V-253V) 頻率50/60HZ

            整機效率

            >=70%

            功率因素

            >=90%

            冷卻方式

            強制風冷

            3、三路質子流量控制系統

            連接頭類型

            雙卡套不銹鋼接頭

            標準量程(N2)

            50sccm,100sccm、500sccm(可根據用戶要求定制)

            準確度

            ±1.5%F.S

            線性

            ±1%F.S

            重復精度

            ±0.2%F.S

            響應時間

            氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

            工作壓差范圍

            0.1~0.5 MPa

            最大壓力

            3MPa

            接口

            Φ6,1/4''

            顯示

            4位數字顯示

            工作環境溫度

            5~45高純氣體

            壓力真空表

            -0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

            截止閥

            Φ6

            內外雙拋不銹鋼管

            Φ6

            4、低真空機組

            空氣相對濕度

            ≤85%

            工作環境

            5℃~40℃

            工作電電壓

            220V±10%  50~60HZ

            功率

            1KW

            抽氣速率

            10m3/h

            極限真空

            5X10-1Pa

            工作壓力范圍

            1.01325X105~1.33X10-2Pa

            耐壓值

            0.03MPa

            容油量

            1.1L

            進氣口口徑

            KF25

            排氣口口徑

            KF25

            噪音

            50dB

            連接方式

            采用波紋管,手動擋板閥與波紋管相連


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