三溫區滑軌式PECVD系統

使用溫度

≤1100℃

爐膛有效尺寸

Φ100mm（適用于2-3英寸樣品，爐管直徑可根據實際需要定制。）

爐膛材料

氧化鋁、高溫纖維制品

熱電偶類型

K型熱電偶

控溫精度

±1℃

控溫方式

30段可編程控溫，PID參數自整定

加熱長度

300+300+300mm

恒溫長度

500mm

加熱原件

電阻絲

供電電源

單相，220V，50Hz

最大反射功率

100W

射頻輸出接口

50 Ω, N-type, female

功率穩定度

≤5W

諧波分量

≤-50dbc

供電電壓

單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ

整機效率

>=70%

功率因素

>=90%

冷卻方式

強制風冷

標準量程（N₂)

50sccm，100sccm、500sccm（可根據用戶要求定制）

準確度

±1.5%F.S

線性

±1%F.S

重復精度

±0.2%F.S

響應時間

氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec

工作壓差范圍

0.1～0.5 MPa

最大壓力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

顯示

4位數字顯示

工作環境溫度

5~45高純氣體

壓力真空表

－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥

Φ6

內外雙拋不銹鋼管

Φ6

工作環境

5℃～40℃

工作電電壓

220V±10%  50~60HZ

功率

1KW

抽氣速率

10m3/h

極限真空

5X10-1Pa

工作壓力范圍

1.01325X105～1.33X10-2Pa

耐壓值

0.03MPa

容油量

1.1L

進氣口口徑

KF25

排氣口口徑

KF25

噪音

50dB

連接方式

采用波紋管，手動擋板閥與波紋管相連