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            熱門關鍵詞：PECVD,CVD系統,升華儀,管式爐,箱式爐等
            
        
            
        
            
        	
        
            
    
            

            




            
    
            
        
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                      BTF-1200C-R-PECVD等離子體增強回轉PECVD系統

              
    BTF-1200C-R-PECVD等離子體增強回轉PECVD系統
    
              
        
              更新時間：2021-11-10
              
        
              型號：BTF-1200C-R-PECVD
              
        
              瀏覽量：603
              
    
              
    
              等離子體增強回轉PECVD系統 主要特點
我司研制的回轉PECVD系統能使整個實驗腔體都處于輝光產生區，輝光均勻等效，這種技術很好的解決了傳統等離子工作不穩定狀態，這樣離子化的范圍和強度是傳統PECVD的百倍，并解決了物料不均勻堆積現象。
              
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